連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ データの取得領域 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2015年8月24日号 VOL.114 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 皆様こんにちは、営業技術グループの並木です。 配信日の本日は講習を受けている最中です。前回の講習は1日で終了 したのですが、今回は2日間受けて最後にテストがあるのです。 受からないと困るのでがんばります! そして、とある事情で並木家で使用していた駐車場を移動しなければ ならなくなりました。。。前は下がコンクリートで屋根付きでしたが、 今は砂利+雑草+直射日光浴び浴びの駐車場に移動になりました。 今月は雑草と戦い、70Lのゴミ袋7コ分抜いてやりました!!! 雑草の繁殖力・生命力にもう、お腹いっぱいです。 除草剤をまいて綺麗になった駐車場に愛しのTANTO君を置いてます♪ 今回のテーマはデータの測定領域のお話です ウェーハの話になります。 ウェーハは端面が丸くなるようにJISで決められていますよね。 端面はスパッととれているわけではないので、丸みを帯びて、 勾配がついています。 勾配がついているということは、干渉計で最外周を見た時に 端面部分の干渉縞は端面に向かって徐々混み合っていきます。 (勾配がきつくなるため) 1つのピクセルあたり2本以上の縞が入ってしまうと、1本1本の 干渉縞として見分けがつかなくなるため、最外周はデータを 取得することができません。 お客様からの要望で、 『データから3mmエッジ除外してデータを出してください』 といわれたら、捉えられた領域から3mmデータを除外することに なるので、必要以上にデータをカットしているかもしれません。 例えばΦ100mmのサンプルで外周3mmを除外したとすると、 最外周までデータを捉えることはできませんから、Φ94mmで あるはずか、Φ93mmになってしまうかもしれません。 弊社では上記のようにならないように、Φ94mmより外側の データをカットし、オリフラに関してはマスキング機能を 使ってデータを除外します。そうすればエリアが小さくなること なくΦ94mmのデータを取得することができます。 ウェーハ1枚の価格が高くなってくると、最外周ギリギリまで 使用しなければならなくなります。そんな時に解析でウェーハを 無駄にしてはいけませんね! お客様が求めている解析をするもの、エスオーエルの仕事です! 本日はここまで!!! いつも最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々 本当にありがとうございます! 以上、営業技術の並木でしたm(_ _)m     ●また来月● ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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