連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 白色干渉とFlatMaster-Ra 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2015年6月29日号 VOL.112 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ みなさんこんにちは。 最近はとてもムシムシして嫌~な気分になりますね。 梅雨ですね。 梅雨ってこんなにも雨降るっけ?というぐらいほとんど毎日雨な気がします。 梅雨が明ければ夏! わたしは夏が結構好きです。わくわくした気分になります。 花火、お祭り、海、プール、スイカ、新緑・・・ 夏が近づくと新しいことがしたくなりまして、フラダンスを習いに行こうと思い、 今週末、見学に行ってきます!! ヒ~ラヒラしたパウを着て、フ~ラフラやりたいわけです。 いつか太陽の下で、フラダンスの発表会に出てみたいと夢見ています・・・ 太陽光は、白色光です。 以前にシャボン玉の干渉の話をしました。 白色光は様々な色の光を含むため、シャボン玉の膜で干渉すると膜厚によって 強めあう色が変わり、虹色に見えます。 虹が虹色に見えるのも白色光がによる現象だからです。 (こちらは干渉とは違いますが。) シャボン玉は虹色に見えるのに、なぜ窓ガラスは虹色に見えないのでしょうか? 白色光は、なんと光路長差が3um以内でないと干渉しません。 最低でも、膜厚×屈折率≦3umである必要があります。 (3umというと、大きめのビフィズス菌2~3個分だそうです。 ちょっと分かりずらいですが、菌級ということには驚きました。) レーザー光に比べて、凄く干渉の幅が小さいのです。 レーザー光は干渉性が高く、白色光は干渉性が低いという言い方をします。 窓ガラスの厚みは数mm以上が普通だと思います。 これでは、窓ガラスが虹色に見えないわけです。 Tropelの装置に白色光を利用した『FlatMaster-Ra』という粗さ干渉計があります。 特にウェーハのような平らな物の粗さを測定する際には、とても便利な機構になっています。 ステージに穴が開いていて、その上にサンプルが置けるようになっています。 その穴に向かって下から白色光を当て、干渉縞をカメラで取得します。 3umの範囲でしか干渉しないということは、干渉縞を探すだけでも一苦労ということですが、 この機構だと、平らな面の測定であればどんな厚みのものでも、サンプルの測定面は ステージと同一面になります。 サンプルを変えるたびに干渉縞を探す、という手間がほとんどないわけです。 そんなわけでして、『FlatMaster-Ra』は干渉縞を探す手間を減らして、時間の短縮にも繋がります。 その余った時間でフラダンスが出来ます!!!!! 『FlatMaster-Ra』にご興味のある方はぜひご連絡下さい。 フラダンスに興味のある方もご連絡下さい!! 今週の教室が楽しみです! お時間をいただきありがとうございました。 -- 野中 ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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