連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ ウェーハの反りと保持方法 続編 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2015年10月28日号 VOL.099 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは。 すっかり秋らしくなりましたね。 そろそろヒートテックをタンスの奥から引っ張り出さねばなりません。 秋と言えば運動会。都心近郊に住むお父さんにとって、運動会と言えば早朝の場所取りですね。 我が子のベストショットを撮影すべく、早朝から場所取りに駆り出される、そんなご時世です。 勿論、これは子供たちが小学校に入る前の話。都市部の保育園や幼稚園の運動会は、 ある意味親たちの戦場でもあります(笑)。 私も息子たちの運動会を見に行きました。 場所取りの為に早起き!! は特にしません。集合時間の10分前くらいに子供を連れてゆき、 まぁそこそこ見える場所にブルーシートを敷き、遠目から子供の成長を眺める。 私にはそんなスタイルが合っているようです。 さて、本題に入ります。今回はウェーハの反り測定における保持の違いについてです。 前回から引き続きの内容ですね。 前回のメルマガでは、ウェーハを垂直で保持する場合と水平で保持する場合で、 SEMIでは名称を変えて区別されているというお話しをしました。 そして、どちらも正しい測定方法であるとも述べましたね。 では、なぜこの様に区別されているのでしょうか?? まずは、2つの保持方法の違いで、測定値にどの様な違いが生じるかを考えましょう。 水平にウェーハを保持するという事は、ウェーハの自重により反りの形状が矯正されます。 どの様に矯正されるかは、ウェーハの自重を支える支持点の位置で決まります。 最も単純にモデル化するのであれば、ウェーハエッジ部を支える円板の曲げを 考える事になるでしょう。この時の自重による変形量Wmaxを計算する場合、 下記式を使うのが適切かと思います。 Wmax= (αqa^4)/(Et^3) q= m/A mはウェーハの自重、Aはウェーハの面積、aはウェーハの半径、Eがヤング率、tがウェーハ厚み、 αは係数です。式から読み取れるように、ウェーハの径と厚みによって大きく変わります。 ウェーハの径が大きく厚みが薄いウェーハでは、垂直保持と水平保持とで 測定値差がかなり出てきます。自重による変形は基本的に反りが小さくなる方向に働くので、 同じウェーハを垂直保持と水平保持で測定して値を比較すると、20umも水平保持の方が 値が小さくなるなんて事もよくあります。 競合他社が水平保持で測定しているのに、自分たちは垂直保持で測っている。 エンドユーザーから同じスペックを要求される場合、これはかなり不利な状況ですね。 何が言いたいかというと、水平保持が正しいか垂直保持が正しいか、 それはエンドユーザー次第というのが現状です。 ウェーハの平面度・平坦度を測定する装置は、Tropelに限らずいくつものメーカーから リリースされており、測定原理も様々です。そんな中で、規格化しましょうという動きになり、 測定原理やウェーハの保持、測定箇所などを区別していって、SEMI規格が出来上がりました。 要するに、様々な装置が混在していた状況の中で規格を作ったという事です。 誰かが、"反りの測定はこうでなければダメだ"というように決められた訳ではないのです。 では、何を尊重すべきか。それは、"何の為に反りを測定し保証するか"という事でしょう。 反りを測定して保証するのは、何かしらの目的があります。その目的を明確に持っているのは エンドユーザーです。従って、エンドユーザーの意向が大きな部分を握っている事は 容易に想像がつくのではないでしょうか。 最後にもう1つ。水平保持と垂直保持、どちらが一般的ですか?という問いに答えます。 ズバリ、水平保持です。特に最近では、この傾向が顕著です。 この続きは、また次回にしましょう。 -- MS.N ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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