連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ FlatMaster Industial Wafer 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2015年4月22日号 VOL.093 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 皆様こんにちは。 今年度も『なみきごと』からスタートです! 春ですねぇ♪自宅から徒歩5分の場所にある市民公園へお花見を してきました。町内の方々でお店を出していたのでとっても アットホームな感じでした。フランクフルト焼きそばサバ塩焼き。 車に乗っていた時、桜を見て綺麗だなーと声に出したら、親から 『あんたも年取ったのよ』と。まあね、30ですけど!!! 桜をみて綺麗と言えるような感性をもつようになったと思えば、 成長で・す・よ・ね(笑) それでは、本題にうつりましょう♪ 今月は【FlatMaster Industial Wafer】についてお話します。 FlatMasterは知っています。Industial(平置き)仕様もWafer仕様も 知っています。けれど、合体したIndustial Waferってなんだ??と 思われる方々、多いと思います。 簡単に言ってしまうと、FlatMaster Industial Waferは 『平置き仕様で、Wafer仕様のチャックが付けられる測定機』 ってことです。(わっ、わかりやすい!!!) 校正原器は平置き仕様と同じものを使用します。 Calibration Device とVerfication Deviceですね。 ●【TTV(厚みムラ)やLTV】を測定する場合 測定基板と同じサイズのチャックをつけて測定します。 これはWafer仕様と同じですね。Wafer仕様のチャックは90°までの 開閉に対し、上記の仕様では、180°開閉なんです。プリズム面が 地面と水平なのに対し、90°までしか開かなかったら、ウェーハを 吸着させる時大変ですから。この辺りも改良しております。 ●【SORIやWarp】を測定する場合 これは、平置き仕様と同じようにハープの上に乗せて測定します。 Wafer仕様の時は、Universal Bowチャックを用いて裏面吸着して 測定していましたが、そのチャックが必要ないんです。 セット方法も チャックの上に置く→バキュームスイッチ押す→チャックを閉める といった手順を踏まずに、ハープの上に乗せればいいので、作業も 楽です♪また基板の厚みが変わると、チルト調整ネジにて厚みの差 だけ調整する必要がありました。チャックを閉める時にプリズムに 当たらないか不安になることもありましたが、その心配もなし。 サンプルの取りだしも、ハープを上げれば、さっと回収できるので とっても簡単です。 最近の傾向として、半導体の基板の厚みが薄くなってきています。 基板がうすくなればなるほど、Wafer仕様でSORIを測定すると、 基板に座屈がおこり、SORIの値が大きくなってしまいます。 また、リソグラフィー工程や薄膜作製時、基板のハンドリング時は 平置きの状態にて実施しているので、平置きでのSORI測定をお勧め しております。 お客様の実施したい項目や事柄で装置の仕様を決めております。 一番あった仕様を御提供できるよう、弊社も努力します♪ いつも最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々、 本当にありがとうございます! 今年度も初心者向けメルマガを配信していきます♪ 楽しみにし下さいね☆★ 次回のメールマガジンもしくは間近でお会いしましょう! -- F.N ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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