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FlatMaster Industial Wafer

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2015年4月22日号 VOL.093

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
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皆様こんにちは。
今年度も『なみきごと』からスタートです!

春ですねぇ♪自宅から徒歩5分の場所にある市民公園へお花見を
してきました。町内の方々でお店を出していたのでとっても
アットホームな感じでした。フランクフルト焼きそばサバ塩焼き。

車に乗っていた時、桜を見て綺麗だなーと声に出したら、親から
『あんたも年取ったのよ』と。まあね、30ですけど!!!
桜をみて綺麗と言えるような感性をもつようになったと思えば、
成長で・す・よ・ね(笑)


それでは、本題にうつりましょう♪
今月は【FlatMaster Industial Wafer】についてお話します。

FlatMasterは知っています。Industial(平置き)仕様もWafer仕様も
知っています。けれど、合体したIndustial Waferってなんだ??と
思われる方々、多いと思います。

簡単に言ってしまうと、FlatMaster Industial Waferは
『平置き仕様で、Wafer仕様のチャックが付けられる測定機』
ってことです。(わっ、わかりやすい!!!)

校正原器は平置き仕様と同じものを使用します。
Calibration Device とVerfication Deviceですね。

●【TTV(厚みムラ)やLTV】を測定する場合
測定基板と同じサイズのチャックをつけて測定します。
これはWafer仕様と同じですね。Wafer仕様のチャックは90°までの
開閉に対し、上記の仕様では、180°開閉なんです。プリズム面が
地面と水平なのに対し、90°までしか開かなかったら、ウェーハを
吸着させる時大変ですから。この辺りも改良しております。

●【SORIやWarp】を測定する場合
これは、平置き仕様と同じようにハープの上に乗せて測定します。
Wafer仕様の時は、Universal Bowチャックを用いて裏面吸着して
測定していましたが、そのチャックが必要ないんです。
セット方法も
チャックの上に置く→バキュームスイッチ押す→チャックを閉める
といった手順を踏まずに、ハープの上に乗せればいいので、作業も
楽です♪また基板の厚みが変わると、チルト調整ネジにて厚みの差
だけ調整する必要がありました。チャックを閉める時にプリズムに
当たらないか不安になることもありましたが、その心配もなし。
サンプルの取りだしも、ハープを上げれば、さっと回収できるので
とっても簡単です。

最近の傾向として、半導体の基板の厚みが薄くなってきています。
基板がうすくなればなるほど、Wafer仕様でSORIを測定すると、
基板に座屈がおこり、SORIの値が大きくなってしまいます。
また、リソグラフィー工程や薄膜作製時、基板のハンドリング時は
平置きの状態にて実施しているので、平置きでのSORI測定をお勧め
しております。

お客様の実施したい項目や事柄で装置の仕様を決めております。
一番あった仕様を御提供できるよう、弊社も努力します♪


 いつも最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々、
 本当にありがとうございます!
 今年度も初心者向けメルマガを配信していきます♪
 楽しみにし下さいね☆★
 次回のメールマガジンもしくは間近でお会いしましょう!


--
F.N


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