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SORIと曲率半径

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2014年7月23日号 VOL.084

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皆様こんにちは。 
 
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暑いのでお茶漬けのようにさらっとすぐ読めるメルマガにしました☆
今月は【SORIと曲率半径】

以前、お客様から
『どれくらいの曲率半径のウェーハだったら形状測定できるの?』
と聞かれたことがあります。

むむ・・・計算できない(汗)すぐには回答できず。
ということで今回計算してしまいます。

まず、ウェーハがきれいなお椀形状であると仮定します。
弊社平面度測定機FlatMasterはφ200mmのウェーハで約200umの
SORIが測定データがデータ欠落なく見える限界です。

曲率半径をR、ウェーハの高低差をd、ウェーハの半径をrとします。
三平方の定理を使うと、
R^2=r^2+(R-d)^2 ―

になります!想像できなければ、ニュートン・リングの図を
想像していただければわかりやすいと思います♪
,亮阿鯏験していくと、
R=(r^2+d^2)/2d ―
となります。
Rに対してdはかなり小さいですが、今回は数値を入れてみましょう!

d=0.200mm、r=100mmを⊆阿紡綟すると、
R=25000.1mm ⇒ 25m!!!

25mって想像しているより大きかったです。
確かにφ200mmもあって高低差が200umしかなかったら、
曲率半径は大きくなりますよね(汗)

25mを曲率半径の目安にして頂ければと思います。


今回もすぐに終わってしまいました。
暑いので、今月はこの辺で・・・

さぁて、来月のメルマガは?
またもや図面で四苦八苦!作り手に迷惑をかけるの巻
でお届けします。(変更あります)

いつも最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々、
本当にありがとうございます!
来月もメルマガ配信します♪楽しみにし下さいね☆★
次回のメールマガジンもしくは対面してお会いしましょう!

--
F.N


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