連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 干渉計の種類 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2013年11月30日号 VOL.076 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 皆様こんにちは。 (( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! )) いつもは、メルマガの最後に展示会出店のお知らせをしておりますが、 今回は、始めにご紹介いたします。 ★☆★展示会・学会出展のお知らせ★☆★ 展示会『SEMICON JAPAN 2013』学会『SiC及び関連半導体研究第22回講演会』 に弊社SOLが出展します。 なんと、粗さ測定機FlatMaster Raの実機展示&体験測定も予定してます! ぜひ、弊社ブースまで足をお運びください♪お待ちしております。 ― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - 展示会 : SEMICON JAPAN 2013 会 期 :12月4日(水)~6日(金) 会 場 :幕張メッセ ブース番号:4A-613 URL:http://www.semiconjapan.org/ja/ ― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - 展示会 : SiC及び関連半導体研究第22回講演会 会 期 :12月9日(月)~10日(火) 会 場 :埼玉会館 URL:http://www.opt.ees.saitama-u.ac.jp/scrm2013/ ― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - ではでは、気を取り直しまして11月の本題に入りましょう☆ 今月は【干渉計の種類】についてお話します Corning Tropel社製の平面度測定機『FlatMasterシリーズ』は、 フィゾー干渉を採用しています。 皆様ご存じですよね!?? 干渉型はその他にも『Michelson』『Mirau』『Linnik』があります。 各々の干渉計について簡単にお話しましょう♪ ☆Michelson☆ 対物レンズとビームスプリッターと参照面から形成されています。 レーザーから出力された平行光をビームスプリッターにより2つの 光路に分割し、参照面とサンプル表面で反射させ、元の光路を通り ビームスプリッターで重ねることにより干渉縞が生じさせます♪ ビームスプリッターをサンプル面と対物レンズの間に入れる必要が あるため、長いWorking Distanceがなければなりませんね! ということは、粗さを測定する時は低い開口数で長い Working Distanceをもつ低倍率の対物レンズを使った測定に 向いていますね!! 次は☆Linnik☆ 対物レンズとビームスプリッターと同じ顕微鏡対物レンズ×2と 参照鏡から形成されています。2つの対物レンズは光学収差が最小で フリンジのコントラストが最大になるようにビームスプリッターで 合わせます。 このLinnikの干渉計は、Warking Distanceが短い高倍率の対物レンズが 用いられています。 このシステムは高倍率での測定の方が向いてそうですね! そして☆Mirau☆ 中の光学系はマイケルソンとほぼ同じです。 ただ、ビームスプリッターのかわりに、片側がコーティングされている ガラス板が入っています!ガラス板が入っていることにより、レンズの倍率は 制限されてしまいますが、粗さ測定機では、多用されている光学系です♪ MirauとMichelsonは同じように等光路干渉計を利用していますよねっ。 2013年の2月のメルマガで粗さ測定をちょろっと紹介しました 『Corning Tropel社製の粗さ測定機Flatmaster Ra』はミラウ型の干渉計です♪ 弊社にデモ機が設置されました。12月の展示会にも実機展示予定です! FlatMasterシリーズはほとんどがフィゾー干渉を採用しています。 フィゾー干渉計はMirauやMichelsonとは異なり不等光路長干渉計です。 また、上記3つの光学系よりも長いコヒーレンス長の光源を必要とします。 FlatMasterは半導体レーザーを使用しています♪もちろん単色光レーザーです! レーザー光はスポット光ではなく、対物レンズで広げて全面一括測定できるように しています。(皆様ご存じですよね。。。m(_ _)mスミマセン) でもなぜ長いコヒーレンス長の光源が必要なのでしょうか????? 短くてもいいの?長くてもいいの? こんな疑問が湧いてきましたか?私はまったく湧きません…でした。 なんで長いコヒーレンス長が必要なのかは、まだ今後のメルマガで♪ いつも最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々、 本当にありがとうございます! 今後も、初心者(自分か?)向けメルマガを配信します♪ 楽しみにし下さいね☆★ 次回のメールマガジンもしくは対面してお会いしましょう! -- F.N ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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