連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 測定の不確かさ 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2013年10月30日号 VOL.075 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 皆様こんにちは。 (( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! )) 今月は【測定の不確かさ】についてお話します まず、不確かさとはどのようなものでしょうか??? 『測定の結果に付随した、合理的に測定量に結び付けられ得る値の  ばらつきを特徴づけるパラメータ』と定義されています。 不確かさの素となるものは、測定器と校正方法・測定対象の再現性・ 測定環境・標準器(Tropelの装置でいう校正原器)です。 測定結果に影響しそうな素からその成分を合成していきます。 Tropelの装置では、NISTとトレーサブルの取れている校正原器を使って 不確かさを評価します。 もし、サンプルの平面度が1um以下であれば、必ずReference Flatを使用 します。 測定結果に影響しそうな素とは、干渉を用いた測定機であれば ①参照平面の平面度 ②測定精度(Accuracy) ③繰り返し精度(repeatability)  ですね。 測定環境に関しては、FMやUFそれぞれ室温・振動・湿度が定められています。   ①の参照平面の平面度ですが、参照平面上には波面収差が存在します。 波面収差がそこにあれば、参照平面も測定結果に影響を及ぼします。 その影響を0に近づけるためのものがReference Flat=0点補正用校正原器です。 Reference Flatを使用して測定機固有の補正値を作成し波面収差を補正します。 フォトマスクを測定するUFではλ/100のReference Flatを使用しています。 λ/100の平面度を作るというのは大変なことです!!!作れますか??? ②測定精度とは、下記で表わされるものです。  |校正原器連続測定の平均値-校正原器の認証値|=測定精度 ③校正原器を連続測定した時の標準偏差であり、測定のばらつきを表わします。 上記①~③成分が全て正規分布であるとすると、3つを合成すると、 √①の2乗+②の2乗+③の2乗となります。 測定誤差ですね。 もし、①でReference Flatのような0点補正用校正原器がなければ、 波面収差の影響を受けた状態での測定結果になってしまいます。 また、②で校正原器がなければ、測定精度を算出することもできません。 ①も②も③もわかって初めて測定機の不確かさ(測定誤差)が確認できるんですね♪ 精度の高い測定機であればあるほど、不確かさを求めることが重要になってきますね! 一つの指標として考えていただければと思います。 UltraFlatにはもちろん、FlatMasterにもReference Flatをつけることができます。 今後、高性能の測定機が必要になってくると思いますよ。 少しでもお役に立てればと思います♪ いつも最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々、 本当にありがとうございます! 今後も、初心者(自分か?)向けメルマガを配信します♪ 楽しみにし下さいね☆★ 次回のメールマガジンもしくは対面してお会いしましょう! -- F.N ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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