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ウェーハ反りの自重における変形について

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2013年9月30日号 VOL.074

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皆様こんにちは。

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今月は【ウェーハ反りの自重における変形について】についてです。


半導体製造プロセスの露光工程において、微細パターン露光時に
露光装置はDOF(焦点深度)が小さくウェーハの平面度はDOFよりも
小さいことが要求されます!    (ウンウン)

焦点深度については、以前のメルマガを参照下さい♪
「焦点深度の式の導出」


そのため、ウェーハをチャック上に真空吸着させて平面度(SORI)を
矯正する必要があります。その際、SORIが既定値より大きくなれば
吸着エラーが起こり、露光工程が中断されます。
このような不具合を無くすためにSORI測定が必要になるのです!
皆様ご存じの通り、露光工程は全て水平保持で行われます。

吸着の不具合を無くすため、露光前に測定機を使用しウェーハの
SORI測定をします。ウェーハにある程度の厚みと剛性があれば、
垂直保持でも水平保持でも測定値差は小さく問題ありません。

しかし、最近、薄いウェーハが出てきました。
.ΕА璽郎犲舛離筌鵐偉┐小さい(剛性が低い)、あるいは
▲ΕА璽呂薄い場合、
垂直でのSORI測定が無意味となります。

ウェーハの自重による座屈が起こることがその理由です。
垂直保持はウェーハ中心部を真空吸着します。
そのため、中心部より上の自重が中心部1点で支持されます。
ウェーハの剛性が非常に低い場合、ウェーハ中心部より上で座屈が
起こり、大きく変形するのでSORI値が変化します。

ここ数年、ウェーハの厚みを薄くする傾向があります。
すると、上記の影響がでてくるのではないでしょうか???

そもそもウェーハSORI測定の主目的は、ステッパー露光時に
ロボットのハンドリングに失敗したり、チャック吸着時に
吸着しきれずリークしたりすることの防止です。
ステッパー露光時は全て水平保持状態で実施します。
薄いウェーハであればあるほど、垂直保持では座屈の影響があります。

そこで!
弊社の平面度測定機は水平保持にも垂直保持にも対応する優れものです!
実際に使用しているお客様もいらっしゃいます♪
一度お試しになってみてはいかがでしょうか???


 いつも最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々、
 本当にありがとうございます!
 今後も、初心者(自分か?)向けメルマガを配信します♪
 楽しみにし下さいね☆★
 次回のメールマガジンもしくは対面してお会いしましょう!

--
F.N


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