連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 露光技術の歴史 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2013年6月30日号 VOL.071 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 皆様こんにちは。 (( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! )) 今月は【露光】についてです。 今月は露光の歴史を簡単ではありますが追っていきましょう☆★☆ まずは、『コンタクト露光』 コンタクト露光とはマスクとウェーハを密着させて露光することです。 一括露光なので処理能力がとても早いというメリットがあります。 しかし、 ・高解像度が得られにくい  ・マスクの消耗が激しい ・ウェーハにもダメージが残ってしまったり、ゴミの影響を受ける といったデメリットがあります。 そんなコンタクト露光のデメリットを克服するため『プロキシミティ露光』が 生まれました!プロキシミティ露光はマスクとウェーハの間に約10um程の 隙間を空け露光します。 一括露光で処理能力が高く、マスクもウェーハもダメージが少ないという メリットがありますが、隙間を空けたため、高解像度が下がり、ウェーハの 大口径化に対応が難しいといったデメリットがあります。 これまたプロキシミティ露光のデメリットを克服するため 『ミラープロジェクション露光』が誕生しました。 ミラープロジェクション露光は、マスクとウェーハの間に凹面鏡と凸面鏡の 光学系をはさみ、マスクとウェーハの距離を離し、マスクとウェーハを同期 させて動かしてウェーハの一括走査露光を行う露光方式です。 大口径化や処理能力はアップしましたが、結像性能の良い位置が限られるため、 高解像度が得られにくです。 またまたミラープロジェクション露光のデメリットを克服するため、 マスク製作に使用していたステップ・アンド・リピート技術をウェーハ露光に 応用することになり『ステッパー』が生まれました。 マスクの原板であるレチクルを使用し、レチクル像をレンズによって ウェーハ上に縮小投影露光します。分割露光にすることでウェーハ 全体ではなく、1 回分の露光領域だけ平面度を気にすればよくなるので、 焦点深度に対する制約はゆるくなりました。 高解像度も得られ、ゴミがついても影響を受けずらく、大口径化にも 対応できます。ただ、一括露光とは違って処理能力は落ちてしまいますが… 上記のように、その露光方式でも、一長一短があることがわかります。 ステッパーという名前だけしか分からない自分が恥ずかしいです(>o<)/// もっと勉強しなくてはです!! これだけ色々考えて、露光装置を現物にしてきた設計の方々・技術の方々は 本当に素晴らしいと感じます。自分が今使っているパソコンや携帯電話や 車にも半導体が使用されていて、こんなにもさくさくと機器が使えるように なっているのは、感動モノです。 最後まで見てくださった方々、ありがとうございます! 今後も、初心者(自分か?)向けメルマガを配信します♪ 楽しみにし下さいね☆★ 次回のメールマガジンでお会いしましょう! -- F.N ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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