連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ FlatMasterでの大きな反りの測定! 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2013年5月30日号 VOL.070 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 皆様こんにちは! (( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! )) 今月は【FlatMasterでの大きな反りの測定!】についてです。 皆さんご存じの通り、FlatMasterは大きな反りを測定することができます。 8インチ(φ200mm)の基板であれば、 中心から凸もしくは凹形状なら200um程の反りまで測定出来ます! しかし、もっと大きな反りを測定したいなぁというお客様に朗報です! 弊社HPのFlatMaster Seriesの測定事例にデータが載っています。  → http://www.sol-j.co.jp/html/jirei/measure_corning_wafer.html#large_sori FlatMasterのとある機能を使ってレシピを組み、必要なパラメータを 調整すれば、1回の測定で約400μmの基板のSORI測定が可能となります! 400μm位のSORIであれば、得られる干渉縞の数は約50本。 基板が凸または凹形状であれば、干渉縞が混み合っていても測定可能です。 SORIが大きすぎて測定できない!とお悩みのお客様。 FlatMasterなら、基板の全体形状や数値を把握することが可能です! 一度お試しになってみてはいかがでしょうか? 最後まで見てくださった方々、ありがとうございます! 次回のメールマガジンでお会いしましょう! -- F.N ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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