当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

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FlatMasterでの大きな反りの測定!

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2013年5月30日号 VOL.070

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
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皆様こんにちは!

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今月は【FlatMasterでの大きな反りの測定!】についてです。

皆さんご存じの通り、FlatMasterは大きな反りを測定することができます。

8インチ(φ200mm)の基板であれば、
中心から凸もしくは凹形状なら200um程の反りまで測定出来ます!

しかし、もっと大きな反りを測定したいなぁというお客様に朗報です!
弊社HPのFlatMaster Seriesの測定事例にデータが載っています。

 → http://www.sol-j.co.jp/html/jirei/measure_corning_wafer.html#large_sori

FlatMasterのとある機能を使ってレシピを組み、必要なパラメータを
調整すれば、1回の測定で約400μmの基板のSORI測定が可能となります!

400μm位のSORIであれば、得られる干渉縞の数は約50本。
基板が凸または凹形状であれば、干渉縞が混み合っていても測定可能です。


SORIが大きすぎて測定できない!とお悩みのお客様。
FlatMasterなら、基板の全体形状や数値を把握することが可能です!
一度お試しになってみてはいかがでしょうか?


最後まで見てくださった方々、ありがとうございます!

次回のメールマガジンでお会いしましょう!

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F.N


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