連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ FlatMasterの基本 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2013年3月30日号 VOL.068 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 皆様こんにちは! (( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! )) 今月は弊社平面度測定装置FlatMasterのおさらい 『FlatMasterの基本』についてです。 FlatMasterはIndustrial・Mask・Disk・Wafer仕様と4つ 仕様があり様々な場面で使用されています。 1台で色んな使い方ができます。 今回はその中の《Industrial仕様》について説明します! Industrial仕様はなんと言っても、ワークのセットが簡単! レベリングの必要なし、ワークを測定治具の上に置くだけ! 【測定ジグ】とは ・プリズムとワークの間に平行な空気層を約200um持たせる ・プリズムに傷をつけない         ようにするものです。 なぜ測定治具が必要かと言うと、FlatMasterは光の干渉を 使う測定機だからです。 詳しくは弊社のHPの測定原理を見て下さい。 ↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓   http://www.sol-j.co.jp/html/jirei/genri_fm.html ワークをセットして測定ボタンをクリックすれば、自動的に 測定を開始し解析まで行います。早ければ15秒程で 測定~解析まで完了します! 15秒ほどで約250000点のデータを得ることが出来るのです。 もし接触式タイプでなら一体何日かかるのでしょうか。 そんなところも干渉計の良いところですよね。 測定プロットも等高線図・鳥瞰図・断面解析図や3D plotと、 お客様自身で好きなレイアウトに出来ます。 中でも断面解析図では、様々な形状で断面解析が可能です。 X軸・Y軸でスライス出来るのはもちろんのこと、半径や直径、 円周方向にスライスすることも可能です。 また、スケールの調整も任意の数値を入れる事が出来ます。 FlatMasterは色んな場面で使われ、かつ誰でも簡単に操作できる装置です。 -- F.N ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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