当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

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【 記 事 】

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FlatMasterの測定項目および再解析に関して

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2012年5月30日号 VOL.056

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
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皆様こんにちは!

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今回のメルマガのテーマは
『FlatMasterの測定項目および再解析に関して』です。

FlatMasterの測定項目は、すべてSEMI規格に準拠しています。
以前配信したメルマガで非吸着測定SORI、BOW、WARPのSEMI
規格について触れました。

その他にも、全面吸着ももちろんSEMI規格に準拠しています。
例えばTTV測定。皆様ご存じではあるかと思いますが、
TTVとはTotal Thickness Variationの略ですね。
平坦なチャック面にウェーハ裏面を全面吸着させ、ウェーハ裏面か
らの最低点を最高点から差し引いた値です。つまり、ウェーハ裏面
を基準とした厚みムラとなります。

このTTV。SEMI規格では、GBIRという名称で呼ばれています。
G:Global (グローバル平坦度)  
B:Back (裏面)
I:Ideal (理想平面)
R:Range (レンジ)
これは、全面吸着測定での頭字語意味です。
LTVはSBIRでありSはSite(サイト平坦度)であり、後ろ3つは同じです。

お客様が知りたいSEMI規格での項目と同じ基準でお話し出来ますので、
表現の食い違いがなくとてもスムーズに話しが進みます。

さらに全面吸着測定を実施した時、本当はLTVもLTIRも測定したい
のに測定項目に付け加えるのを忘れてしまった…もう一度測定し直しか…
という時でもFlatMasterなら問題ありません。

FlatMasterには再解析機能がついています。
FlatMasterでは再解析用のデータがあります。これを保存していれば、
再解析を行う事が可能です!

FlatMasterの再解析用データの容量は約400kB/1枚、測定プロットを
jpeg形式で保存した時の容量が約200kB/1枚です。とても軽いため、
再解析用データも併せてを保存しておけるのです。
沢山の情報が詰まった再解析用のデータが400kBで収まるなんて...
Corning Tropel社のエンジニアの技術力に圧巻です。

再解析機能は研究開発や製造現場の方々に重宝されている機能です!

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F.N


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