連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ FlatMasterの知られざる機能Microwavinessの世界 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2012年2月29日号 VOL.053 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 皆様こんにちは。 (( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! )) 今回のメルマガのテーマはFlatMasterの Microwaviness(表面うねり)について解説いたします。 題して....『FlatMasterの知られざる機能Microwavinessの世界』!! このメルマガを読む際に見て頂きたいのは、弊社SOLのHPです。HP内の 課題解決事例【平面度(平坦度)はクリアしているのに課題解決しない】 を参照してください。図が掲載されているため、分かり易いです。 表面の形状は三角関数の合成で構成されています。色んな三角関数の 形状を持った波がたし合わされて出来ています。波長の小さい ものから大きなものまで、大きく分けると3つの領域に分類することが出来ます。 ・表面粗さ(Roughness) ・表面うねり(Microwaviness) ・全体の形状(Form) Microwavinessは中間の波超領域で評価され、FlatMasterは波長領域を 任意に設定して解析する事が可能です。 表面の平坦化加工において、Microwavinessは非常に役立ちます。 例えば、ウェーハで両面を研磨して平坦化する事があります。 両面に表面うねりがあるとしたら、裏面を全面吸着すると裏面の形状が 表面に転写されてしまいます。従って、表面の平坦化加工の効果を見る ためには、全面吸着測定だけでは不十分なのです。 そこで、非吸着状態でのMicrowaviness解析が役に立つのです。 非吸着では裏面の影響を受けないので、平坦化加工の効果を確認する 事ができるのです。 その他にも、「2つのサンプルを重ね合わせた時に平面度は良いがリーク してします」や「上手くくっつかない」などの場面で役立つ機能です。 -- F.N ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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