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FlatMasterの知られざる機能Microwavinessの世界

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2012年2月29日号 VOL.053

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今回のメルマガのテーマはFlatMasterの
Microwaviness(表面うねり)について解説いたします。

題して....『FlatMasterの知られざる機能Microwavinessの世界』!!

このメルマガを読む際に見て頂きたいのは、弊社SOLのHPです。HP内の
課題解決事例【平面度(平坦度)はクリアしているのに課題解決しない】
を参照してください。図が掲載されているため、分かり易いです。

表面の形状は三角関数の合成で構成されています。色んな三角関数の
形状を持った波がたし合わされて出来ています。波長の小さい
ものから大きなものまで、大きく分けると3つの領域に分類することが出来ます。

・表面粗さ(Roughness)
・表面うねり(Microwaviness)
・全体の形状(Form)

Microwavinessは中間の波超領域で評価され、FlatMasterは波長領域を
任意に設定して解析する事が可能です。

表面の平坦化加工において、Microwavinessは非常に役立ちます。
例えば、ウェーハで両面を研磨して平坦化する事があります。
両面に表面うねりがあるとしたら、裏面を全面吸着すると裏面の形状が
表面に転写されてしまいます。従って、表面の平坦化加工の効果を見る
ためには、全面吸着測定だけでは不十分なのです。

そこで、非吸着状態でのMicrowaviness解析が役に立つのです。
非吸着では裏面の影響を受けないので、平坦化加工の効果を確認する
事ができるのです。

その他にも、「2つのサンプルを重ね合わせた時に平面度は良いがリーク
してします」や「上手くくっつかない」などの場面で役立つ機能です。

--
F.N


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