連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ FlatMasterによる非吸着全面解析について 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2012年1月30日号 VOL.052 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 皆様こんにちは! (( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! )) 今回のメルマガのテーマはFlatMasterの非吸着測定 についてお伝えします。 題して...『FlatMasterによる非吸着全面解析について』です! 非吸着全面解析では、ウェーハの裏面の3点または1点を吸着し、 元の形状を矯正することなく測定した場合の測定項目です。 測定項目として、SORI、BOW、WARPがあります。それぞれSEMI規格に 準じています。名称を下記に示します。 ① SORI : GFLYFER ② BOW : GF3YFCD ③ WARP : GF3YFER 非吸着測定項目において、SEMI規格は、保持方法を明示出来るよう になっています。 FlatMasterのウェーハ仕様の場合、ウェーハを垂直に近い状態に保 持する事で重力による中だるみが修正済みとなる為、4番目の文字 がYとなります。 また、平置き仕様の場合はウェーハ水平に保持する事で、重力によ る中だるみが補正されていない為、4番目の文字がNとなります。 では、FlatMasterでいうSORI、BOW、WARPとはなんでしょうか?  ①SORI  最小二乗平面からウェーハ表面上の最高点と最低点までの距離の  合計です。常に正の値です。  ②BOW  ウェーハ中心の高さを測定します。この高さは3点基準平面から  の符号付き距離です。3点基準平面より上の場合はプラス、下の  場合はマイナスです。  ③WARP  3点基準平面からウェーハ表面上の最高点と最低点までの距離の  合計です。常に正の値です。 ②及び③の3点基準平面の3点とは、ウェーハ表面測定領域の内 側3点で、通常は直径の3%内側をとります。3点は120°間隔です。 基準面の取り方によって数値が変わる可能性もあります。 色々とあって複雑ですね... でも何故、非吸着測定が必要なのでしょうか? 非吸着測定は、ウェーハの反りが大きいために、ロボットの ハンドリングに失敗したり、チャック吸着時に吸着し切れずにリー クしたりすることを防止するのが主な目的です。 また、上記の測定データを成膜プロセスの条件パラメータとして使 うこともよくあります。ウェーハの形状をある条件で揃えてプロセ ス装置の条件出しを行い、以後ウェーハの仕様として同じ形状が要 求されることがあります。プロセスをコントロールするノウハウと して用いられつつあるのです。 今回の話しを聞いて、少しでもご興味を持って頂ければ幸いです。 「やってみる価値あるかも!!」と思って頂けましたら、お気軽に エスオーエルにご連絡下さい!一緒に問題解決していきましょう! 最後まで見てくださった方々、ありがとうございます! 次回のメールマガジンもお楽しみに! -- F.N ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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