連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ MSPによる平行度、高さ(深さ)測定 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2011年12月30日号 VOL.051 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 皆様こんにちは! (( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! )) 今回のテーマはMSPについてお伝えしま す。題して、『MSPによる平行度、高さ(深さ)測定』です! 前回もお話ししました様に、MSPは垂直入射方式のフィゾー干渉 計です。レーザー光の波長を微小に変調させてフリンジスキャン を行い、平面度や平行度や段差、更に奥まった面の平面度のデー タを取得出来る測定機です。 では、平行度、傾き、高さ(深さ)とはなんでしょうか? 図を文字で説明するのは難しいので、日本酒を飲む時一升枡を想 像して下さい。口を付ける面(A面)と枡の底の面(B面)があります。 MSP上で平行度は、Parallelism(PAR)として表記します。 PARはA面を平行移動させ、B面の最大値と最小値を挟んだ時の距離 となります。B面の形状を含んだ値です。 この時のA面は基準面の最小二乗平面として、B面は傾き成分を含ん だ平均面として算出しています。 また、傾きは、Taperとして表記します。A面を平行移動させB面を 挟んだ時の距離であり、B面の形状を含みません。 この時のA面は基準面の最小二乗平面として、B面は傾き成分を含ん だ平均面として算出しています。 高さ(深さ)はHeightとして表記します。 Heightは、A面とB面の中心間距離です。 この時のA面は基準面の最小二乗平面として、B面は傾き成分を含ん だ平均面として算出しています。 上記2つは、他の干渉計では測定できない分野です!! φ300まででしたら、MSPで奥まった面の平面度はもちろんのこと、 平行度、傾き、高さ(深さ)も1度に測定する事ができます。 相差解析だけではなく、周波数解析も出来るMSPならではの測定です! 「よくわからないかも…でももしかしたら、このサンプル測定出来るかも!」 と思っていらっしゃる方がいらっしゃいましたら、お気軽にご連絡ください! 最後まで見てくださった方々、ありがとうございました! 良い年末を!そして、また来月末に! -- F.N ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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