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MSPの位相差解析と周波数解析

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2011年11月30日号 VOL.049

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皆様こんにちは!

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今回は『MSPの位相差解析と周波数解析』についてお話したいと
思います!

まず、MSPは、垂直入射方式のフィゾー干渉計です。

レーザー光の波長を微小に変調させてフリンジスキャンを行い、平面度や
平行度や段差、更に奥まった面の平面度のデータを取得出来る測定機です。

レーザー光の波長を微小に変調させフリンジスキャンを行う技術は、なんと
11コもの特許を取得している凄い技術なのです!すばらしいです!!!

では、位相差解析と周波数解析とはなんでしょうか?


−位相差解析−

 まず、参照平面からの反射光とサンプル面からの反射光が干渉を起こし、
干渉縞を形成します。そして、フリンジスキャンを行います。参照平面から
の反射光とサンプル面からの反射光の位相差に正弦波状の変調を加え、得ら
れた正弦波信号を隣接するピクセル間で位相比較し、平面度を測定します。
位相差を連続的に変化させる事でフリンジスキャンが実施できます。


―周波数解析―

 まず、参照平面からの反射光とサンプル面からの反射光が干渉を起こし、
干渉縞を形成し、フリンジスキャンを行います。ここまでは位相差解析と同
じです。参照平面から各ピクセルまでの距離と各ピクセルまでの変調周波
数が正比例します。従って各ピクセルで周波数解析を行っているのです。
凄い計算をしているのですね!


周波数解析では約4%の反射光が得られれば、参照光と反射光が干渉し合い、
干渉縞を形成する事ができます。人間の目には見えない位の干渉縞であって
も、CCDカメラが干渉縞を認識し、解析を行ってくれるのです。
従って、面の粗いサンプルの平面度を測定するには最適です!!!

そして、周波数解析はピクセル毎に周波数解析を行うので、段差や高さ、
奥まった面も測定することができるのです。さらに勾配がキツイ面の
平面度測定にも最適です。

測定してみようかな?と思って頂けましたら、お気軽にご連絡ください!


最後まで見てくださった方々、ありがとうございました!

--
F.N


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