連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ サイト解析について 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2011年10月30日号 VOL.048 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 皆様こんにちは! (( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! )) 今回は『サイト解析』についてお話したいと思います! サイト解析は主にウェーハの測定項目のLTV(Total Indicated Reading)や LTIR(Local TIR)の際に使われる解析です。 LTVは、各サイト内における基準面からの最高点と最低点の距離(絶対値) の和です。基準面として、チャックに全面吸着したウェーハ裏面に平行な面を とっています。 LTIRとは、各サイト内における基準面からの最高点と最低点の距離(絶対値) の和です。基準面は表面から算出されます。LTVの基準面は裏面で、LTIRの 基準面は表面です。 裏面・表面基準には、サイト焦点調整機能(Refocus)があります。 その中には、下記の3つの調整機能があります。 ・Center Point Refocus:サイト内1点の平均を基準とします。 ・Corner Average Refocus:サイト内の角数点の平均を基準とします。 ・Side Average Refocus:サイト外周の平均を基準とします。 また、表面基準には、サイト焦点チルト調整機能(Relevel)があります。 その中には、下記の3つの調整機能があります。 ・Site 3 Point Relevel:サイト内の数点の平均を基準とします。 ・Site 4 Point Relevel:サイト内の角数点の平均を基準とします。 ・Site LS Relevel :サイト内全面の最小二乗平面を基準とします。 FlatMasterで、様々な露光装置のレベリング機構と同様の解析を行う ことにより、実際の露光条件での平坦度解析をすることができます。 また、FlatMasterではサイトの形は正方形だけでなく長方形にも出来 るんです。サイトのサイズは0.5mmから可能です。 FlatMasterには様々な機能があります。 こんな測定項目はあるの?というようなものがございましたら、 お気軽に弊社までご連絡頂ければと思います! お待ちしております!!! 最後まで見てくださった方々、ありがとうございました! また、来月末にお会いしましょう! -- F.N ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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