連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ ウェーハ外周のダレ 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2011年6月30日号 VOL.041 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ メルマガを読んで下さっている皆様、こんにちは! 今回は、ウェーハ外周の測定について話したいと思います。 φ150mmのウェーハの裏面を全面吸着させて測定した時に、 外周にダレが生じるサンプルを例にとります。 縞感度S=1.5μm/fr にて裏面全面吸着測定をしたら、外周のダレが確認できました。 次に、S=4.0μm/fr と S=9.0μm/fr にて裏面全面吸着測定を行いました。 すると、縞感度が大きくなればなる程、ダレの大きさはどんどん大きくなっていきました。 「縞感度を1.5μm/fr から 9.0μm/fr に変化させていくと、外周のダレがより多くとれる」 ということは、どういうことでしょうか。 実は、外周のダレの勾配は、縞感度によって捉えられる範囲が異なります。 どれだけのダレの勾配まで捉えられるかは、下記の式によって算出することができます。   測定可能な勾配(μm/mm) = 縞感度(μm/fr)/2 × 横分解能(pixel/mm) この式を使って、φ150mmのウェーハの測定可能なダレの勾配を計算してみます。 S=1.5μm/fr のとき、   1.5μm(μm/fr)/2 × 3.2(pixel/mm) = 2.4μm/mm S=4.0μm/fr のとき、   4.0μm(μm/fr)/2 × 3.2(pixel/mm) = 6.4μm/mm S=9.0μm/fr のとき、   9.0μm(μm/fr)/2 × 3.2(pixel/mm) = 14.4μm/mm となります。 数値化してみると分かり易いですね! 以上から、縞感度を落として測定すれば、ウェーハの外周のダレがより多くとれます。 では、また月末にお会いしましょう! -- F.N ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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