連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ TROPEL 斜入射式 平面度測定機のフリンジスキャン 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2011年1月30日号 VOL.033 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 今回は改めて、フリンジスキャンについて考えてみたいと思います。 スキャンと言ってはおりますが、これはSEMのように測定面内を 一筆書きに走査していくような手法ではありません。 TROPELの平面度測定機は10秒ほどで数万点の平面データを 取得することができます。一筆書きにして測定する方法では スピードに限界があります。 フリンジスキャンとはビームエキスパンダで一括照射された 全面の干渉縞(フリンジ)を一斉に動かす(スキャンする)方法です。 FMシリーズの場合はレーザーの入射角度を微少に変化させています。 こうすることで、干渉縞が流れるような動きを見せます。 この動作がフリンジスキャンです。 このフリンジスキャンをCCDで検知します。 TROPELの平面度測定機は480×480pixのCCDを使用しています。 最大エリアで23万点のデータが測定できる計算になります。 このpixデータをTROPEL独自のソフトウェアが情報処理し、 平面度測定の結果を導き出しています。 この情報処理方法については以下に簡単な原理説明があります。 http://www.sol-j.co.jp/HTML/PRDCT/genri.html このTROPEL独自のソフトウェアはWindows上で動作します。 ソフト上のグラフィックで表示させることもできますし、 数値データはExcelやTextなどで出力させることも可能です。 -- T.S ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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