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粗い面の平面度測定

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2010年11月30日号 VOL.030

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粗い面の平面度が測定できるのはTROPELの得意分野のひとつです。


例えば、インゴットなどからウェーハを切り出した面や
鏡面になっていない研削面などは、光が乱反射してしまう
いわゆる粗い面になっています。

こういう面は特に垂直入射の干渉計では全く干渉縞が出てきません。
垂直入射ではほとんどの光が散乱してしまうからです。
粗い面の平面度を測定するというのは干渉計にとっては
そう簡単ではありません。

透明の部品を干渉計で測定するときも同じような現象が現れます。
垂直に光が入射すると、透明の場合は一般に光が反射せずに
ほとんど透過してしまいます。そのため、表面の干渉縞が
薄くなってしまいます。光の入射角度を大きくして、
どんどん斜めに入射させると指数関数的に突然反射率が
上がってきます。透明なガラスを斜めから見たときに、
ガラスの向こう側が見えにくくなってくるのはこのためです。

粗い面も同様に垂直入射光は乱反射しやすく、正反射しにくいですが、
斜入射光にすると、乱反射する割合が減って、入射角と同じ角度で
反射する正反射の割合が大きくなります。

TROPELは入射角度を極限の90°に近い角度で測定しています。
この角度で測定すると、ほとんど見えなかった干渉縞を
出現させることができます。干渉縞さえ出てしまえば、測定は可能です。
TROPELは粗い面の測定をこの斜入射測定で解決しています。

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T.S


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