当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

メールマガジン記事

【 概 要 】

エスオーエルでは、精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 Webでは公開されない情報があることや、最新情報をいち早くお届けするためにも、 メルマガ会員登録をおすすめしております。

【 記 事 】

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇

工程管理は上流から

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2010年7月30日号 VOL.021

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇



 ウェーハを製造する工程で、平面度管理はウェーハの作り込みに
とても重要な管理です。

 中でもインゴットからの切断時点から、平面度を管理していく
上流管理は大変重要な位置を占めています。


 切断後のウェーハはその後ラップ、ポリッシュなどで反りや厚みが
修正されますが、形状は最後まで残ってしまう傾向があります。

 反っているウェーハは研磨工程後も反ったままであったり、
表面と裏面が平行でないようなクサビ形状があるものは
研磨後もやはりクサビの成分が残ってしまいます。


 また、最近はウェーハの厚みが薄くなる傾向があります。

 最初から反りが少なく、より均一な厚みのウェーハを
切断の工程から作り込んでおきたいという要求が以前よりも
強くなってきているようです。


 しかし、切断後のウェーハはソーマーク(切断跡)による
凸凹があったり、反りがあったりしますから、干渉計で平面度を
測定するには困難な課題があります。


 最大の問題はソーマークや大きな反りは局所的に大きな勾配を
もっているということです。

 これは以前メルマガVOL.020で紹介したように
CCDカメラの1つのピクセル内に2本以上の干渉縞が
あるような大きな勾配がある場合はローカルスロープリミット
という測定限界が存在するために起こる問題です。

 TROPELのFlatMasterシリーズはこの局所勾配の問題の解決に
二つの機能で対応しています。


 まずひとつは判別できない勾配はデータを欠落させてしまい、
信頼性のないデータは出力しないようにしています。

 詳しくは、メルマガVOL.020の「平面度測定機と相関の課題」の
「ローカルスロープリミットの判別」をご確認下さい。


 もうひとつは、干渉に使うレーザー光の入射角度を大きくすることで、
干渉縞の間隔を広げます。

 この操作でCCDのローカルスロープリミットを回避して、
データ欠落の無い測定結果を出力します。



 このようにTROPELのFlatMasterシリーズは平面度管理が難しい
ウェーハ製造工程の上流側から管理することができます。


より詳しい説明や資料をご希望の方はお問い合せフォームよりお問い合せください。
お電話、FAX、メールでも受け付けています。

--
T.S


●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━
┣╋╋○ エスオーエル株式会社  ( SOL )
┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1
┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678
● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp
   --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで
トップへ戻る