連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 工程管理は上流から 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2010年7月30日号 VOL.021 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇  ウェーハを製造する工程で、平面度管理はウェーハの作り込みに とても重要な管理です。  中でもインゴットからの切断時点から、平面度を管理していく 上流管理は大変重要な位置を占めています。  切断後のウェーハはその後ラップ、ポリッシュなどで反りや厚みが 修正されますが、形状は最後まで残ってしまう傾向があります。  反っているウェーハは研磨工程後も反ったままであったり、 表面と裏面が平行でないようなクサビ形状があるものは 研磨後もやはりクサビの成分が残ってしまいます。  また、最近はウェーハの厚みが薄くなる傾向があります。  最初から反りが少なく、より均一な厚みのウェーハを 切断の工程から作り込んでおきたいという要求が以前よりも 強くなってきているようです。  しかし、切断後のウェーハはソーマーク(切断跡)による 凸凹があったり、反りがあったりしますから、干渉計で平面度を 測定するには困難な課題があります。  最大の問題はソーマークや大きな反りは局所的に大きな勾配を もっているということです。  これは以前メルマガVOL.020で紹介したように CCDカメラの1つのピクセル内に2本以上の干渉縞が あるような大きな勾配がある場合はローカルスロープリミット という測定限界が存在するために起こる問題です。  TROPELのFlatMasterシリーズはこの局所勾配の問題の解決に 二つの機能で対応しています。  まずひとつは判別できない勾配はデータを欠落させてしまい、 信頼性のないデータは出力しないようにしています。  詳しくは、メルマガVOL.020の「平面度測定機と相関の課題」の 「③ローカルスロープリミットの判別」をご確認下さい。  もうひとつは、干渉に使うレーザー光の入射角度を大きくすることで、 干渉縞の間隔を広げます。  この操作でCCDのローカルスロープリミットを回避して、 データ欠落の無い測定結果を出力します。  このようにTROPELのFlatMasterシリーズは平面度管理が難しい ウェーハ製造工程の上流側から管理することができます。 より詳しい説明や資料をご希望の方はお問い合せフォームよりお問い合せください。 お電話、FAX、メールでも受け付けています。 -- T.S ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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