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【 記 事 】

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TTVの測定方法

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2010年5月30日号 VOL.017

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ウェーハなど厚みムラを確認するためにTTVという指標が使われます。
TTV(Total Thickness Variation)とは厚みムラの最高点と最低点との差です。

SEMIではTTVのことをGBIR(Global/Back/Ideal/Range)と呼んでいます。
Globalはウェーハの全体の面を示しています。
Backは裏面を指しており、裏面を平らにした場合、その面を基準にして、
ウェーハ表面の高さを確認するということを意味します。
Idealは理想平面を意味しており、裏面を理想の平面とした場合を想定しています。
Rangeとは最高点と最低点の差(範囲)を意味しています。

つまり、ウェーハ裏面を平らにし、理想の平面に可能な限り近づけてから、
表面の起伏を測定する必要があります。

実際の測定では一般的に、ウェーハを全面吸着できるチャックにウェーハを貼り付けます。
真空ポンプを使って、バキューム吸着させることで、ウェーハ裏面の全面が
ウェーハチャックに吸着します。
吸着すると、ウェーハ裏面はチャックの表面とほぼ同じ平面形状になります。
この状態でウェーハ表面の平面度を測定することで、TTVを測定します。
もちろん、測定前にチャック表面を測定面と平行にするための調整も必要です。


ところで、ガラス、石英、水晶、サファイアなどの透明な材料の
ウェーハの場合は裏面吸着しなくてもTTVを測定することができます。
透明な物体は測定したい表面の干渉縞の他に裏面からの光の反射による干渉縞が出てきます。
これを二次フリンジと呼んでいますが、この二次フリンジを解析することで
TTVを測定することができます。

弊社HP「測定事例紹介」ページの「No.4:透明品測定」にガラスディスクの事例が
掲載されています。
http://www.sol-j.co.jp/HTML/PRDCT/appli.html


二次フリンジを解析することでTTVを測定する方法は、10年程前に弊社エスオーエルが考案し、
Tropel社がこのFFT解析機能を開発したことは以前のメルマガでもご紹介しております。
 VOL.009. FFT解析による二次フリンジ分離

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T.S


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