連載「ベアト三次元測定の世界!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 粗さ測定機のお問合せ例 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「ベアト三次元測定の世界!」 2013年12月20日号 VOL.031 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 三次元測定機やアプリケーション例などをテーマに、 無料にてメールマガジンとして配信いたします。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ みなさんこんにちは! とっても寒くなりましたね。 雪が降っているところもあると思いますが、 埼玉県も寒いですよ~~~カイロを貼っております。 先日は極寒の中、イルミネーションを見に行ってきました! 栃木県の「あしかがフラワーパーク」です。 関東3大イルミネーションの1つに認定されています! 大規模な公園にいろいろなテーマのイルミネーションが施してあり、 子供からお年寄りまで楽しめるものでした。 LEDの力ってすごいですね!感動しました♪ 車で午後4時半頃までには着いておくことをお薦めします! もちろん、電車でも行けます☆ さてさて、今回はWerth社ではなくTropel社の装置をご紹介します! 最新装置が出たので是非ご紹介したかったのです。 前回のメールマガジンで、詳しく干渉計についてご説明しましたが、 最新装置のCorning Tropel社製粗さ測定機FlatMaster-Raは白色干渉計です。 「どこにでもある粗さ測定機では???」と思われたでしょうか。 しかし、それが違うんです!2つのメリットをご紹介します。 ① 粗面から鏡面まで対応できる 通常の干渉計方式の粗さ測定機では、 粗面またはラップ面の測定は難しいですよね。 それは、面が粗いと非常に干渉縞を探すのが難しいからです。 測定面から返ってくるわずかな信号を、FlatMaster-Raでは捉えることができます。 それにより、幅広い面状態の測定をすることができるんですね。 現在お問合せが多いのは、ウェーハのラップ面の測定です。 お持ちの干渉計で測定できないので・・・とご依頼いただくことが多々あります。 ② 測定物の厚みが変わっても測定時間に影響がない 通常の干渉計方式の粗さ測定機では、 測定面を上向きにし測定台にセッティングします。 そして、レンズを上からおろして縞を見つけると思います。 FlatMaster-Raでは、逆です! 測定面を下向きにして測定台にセッティングします。 その瞬間、レンズと測定物の間のギャップ調整が完了します。 あとは、オートフォーカスボタン、測定ボタンを押すだけです。 測定時間は約20秒です。とっても速いですよね! 様々な工程のサンプルを測定したい場合、 工程によりウェーハの厚みが違うと思います。 そんな時、ウェーハ毎にギャップ調整のし直しが必要ないと、とっても便利です。 弊社にデモ機がございますので、ご興味がありましたら是非一度お問合せ下さい! 今年の私の号はこれで最後になります。 1年間、遊びの話ばっかりのメールマガジンですがお読みいただき、 誠にありがとうございました。 ご訪問した際に、「いつも読んでるよ。」とお声をかけていただき、 とても励みになっております。ありがとうございます。 年末年始、寒い日が続きますが体調には皆様お気を付けて、ゆっくりとお休み下さい! それではまた来年、お会いしましょう!良いお年を☆ -- H.H ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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