当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

メールマガジン記事

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エスオーエルでは、精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 Webでは公開されない情報があることや、最新情報をいち早くお届けするためにも、 メルマガ会員登録をおすすめしております。

【 記 事 】

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粗さ測定機のお問合せ例

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「ベアト三次元測定の世界!」
2013年12月20日号 VOL.031

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
三次元測定機やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。

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みなさんこんにちは!

とっても寒くなりましたね。
雪が降っているところもあると思いますが、
埼玉県も寒いですよ〜〜〜カイロを貼っております。

先日は極寒の中、イルミネーションを見に行ってきました!
栃木県の「あしかがフラワーパーク」です。
関東3大イルミネーションの1つに認定されています!
大規模な公園にいろいろなテーマのイルミネーションが施してあり、
子供からお年寄りまで楽しめるものでした。

LEDの力ってすごいですね!感動しました♪
車で午後4時半頃までには着いておくことをお薦めします!
もちろん、電車でも行けます☆


さてさて、今回はWerth社ではなくTropel社の装置をご紹介します!

最新装置が出たので是非ご紹介したかったのです。
前回のメールマガジンで、詳しく干渉計についてご説明しましたが、
最新装置のCorning Tropel社製粗さ測定機FlatMaster-Raは白色干渉計です。

「どこにでもある粗さ測定機では???」と思われたでしょうか。
しかし、それが違うんです!2つのメリットをご紹介します。


  粗面から鏡面まで対応できる

通常の干渉計方式の粗さ測定機では、
粗面またはラップ面の測定は難しいですよね。

それは、面が粗いと非常に干渉縞を探すのが難しいからです。
測定面から返ってくるわずかな信号を、FlatMaster-Raでは捉えることができます。

それにより、幅広い面状態の測定をすることができるんですね。
現在お問合せが多いのは、ウェーハのラップ面の測定です。
お持ちの干渉計で測定できないので・・・とご依頼いただくことが多々あります。


  測定物の厚みが変わっても測定時間に影響がない

通常の干渉計方式の粗さ測定機では、
測定面を上向きにし測定台にセッティングします。
そして、レンズを上からおろして縞を見つけると思います。

FlatMaster-Raでは、逆です!
測定面を下向きにして測定台にセッティングします。
その瞬間、レンズと測定物の間のギャップ調整が完了します。
あとは、オートフォーカスボタン、測定ボタンを押すだけです。
測定時間は約20秒です。とっても速いですよね!

様々な工程のサンプルを測定したい場合、
工程によりウェーハの厚みが違うと思います。

そんな時、ウェーハ毎にギャップ調整のし直しが必要ないと、とっても便利です。


弊社にデモ機がございますので、ご興味がありましたら是非一度お問合せ下さい!

今年の私の号はこれで最後になります。
1年間、遊びの話ばっかりのメールマガジンですがお読みいただき、
誠にありがとうございました。

ご訪問した際に、「いつも読んでるよ。」とお声をかけていただき、
とても励みになっております。ありがとうございます。

年末年始、寒い日が続きますが体調には皆様お気を付けて、ゆっくりとお休み下さい!
それではまた来年、お会いしましょう!良いお年を☆

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H.H


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