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X線寸法測定機の光源

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「ベアト三次元測定の世界!」
2013年5月20日号 VOL.024(☆祝2年☆)

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みなさんこんにちは!

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今回はX線CT寸法測定機の光源についてご説明します。

最近、アベノミクス効果でしょうか、
様々な企業様や各都道府県の工業技術センター様より、
TomoScopeのお問合せをよくいただきます。

年度が変わったばかりにも関わらず、
こうした測定機の今年度の販売実績も出始め、
景気の上向きを感じる今日この頃です。


TomoScopeを日本国内で販売するようになってから約5年。
発売当初は、「X線で寸法測定?そんなの大丈夫?」
といった声が多かったのですが、
現在では「X線で寸法測定ができるんですよね?紹介に来てくれますか?」
といった感じです。
やっと知名度が上がってきました!


ではなぜ以前はX線での寸法測定に懐疑的な声が多かったのでしょうか?
それは、もともとX線は寸法測定ではなく、内部の欠陥検査に使われていたからです。

そのため、精度は数十μm、数百μmなどで、寸法測定には適しません。
X線CT装置で寸法測定を行う際は、以下の条件を考えることが必要です。


  X線光源サイズと拡大率

   光源の大きさが点光源に近づけば近づくほど、
   半影と呼ばれる「像のぼけ」の原因になるものを軽減できます。
   光源が幅を持つと、光源の左端から出た光と右端から出た光が測定物の両端を通り、
   交差します。そうすると、1箇所を通った光からできた像が幅をもってしまいます。
   それが半影です。

   また、半影の影響は、拡大率とX線光源サイズに比例します。
   光源を測定物に近付ければ近付けるほど、また、光源サイズが大きくなればなるほど、
   X線検出パネルに映し出される像はぼけてしまい、寸法測定には適さなくなります。


  X線光源サイズとVoxel Size

   Voxel Sizeとは、Pixel Sizeの三次元版です。分解能です。
   光源サイズが、設定したVoxel Sizeより大きいと、半影の影響がでます。
   1Voxelよりも光源のサイズが大きいと、光源から出て測定物の端を通り、
   X線検出パネルに当たる光は1Voxelよりも大きくなります。
   従い、1点を通った光が2Voxel以上にまたがってしまいます。
   そうすると、どこが測定物のエッジなのかわからなくなり、像がぼけてしまうのです。


以上が、寸法測定をX線で行う際に考慮しなければならない点です!
半影の影響を少しでも小さくするため、
光源のサイズが小さくなるようX線の出力を調整することが大切です。


今月も最後までお読みいただき、ありがとうございました!

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H.H


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