連載「ベアト三次元測定の世界!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ X線寸法測定機のポイント 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「ベアト三次元測定の世界!」 2012年2月20日号 VOL.009 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 三次元測定機やアプリケーション例などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ みなさんこんにちは! 今月も、「Werth三次元測定の世界!」の日がやってきました。 (( メルマガ登録会員の皆さまは、著者の旅行記的なのをご覧頂けます! )) 本日のテーマは「X線寸法測定機のポイント」です。 弊社でご紹介している、ドイツWerth社製のX線CT装置TomoScopeでは寸法測定が可能です。 ですが、いくら寸法測定が可能と言われても、理由がわからないと信用できない! というご意見があるだろうと思い、 今回はX線での寸法測定に欠かせないポイントをまとめてご紹介することにしました! まず、1つ目のポイントは「剛性が高いこと」です。 通常の接触式やレーザーの三次元測定機では、 床振動の影響を遮断するために剛性の高い素材のダンパーや、 土台としてグラナイト(お墓と同じ)が採用されています。 それは、X線CT装置においても重要な点です。 もし、装置の剛性が低かったら、測定物にX線を照射する際360度回転しますが、 回転と同時に測定物が動いてしまいます。 そうすると、X線の減衰を検知するディテクターと呼ばれるパネルに、 ブレた情報が伝わり、画像がぼやけてしまいます。 カメラで写真を撮る際、「手振れ」しますよね。それと同じような原理です。 TomoScope内部には、グラナイトが使用されておりますので、 そのようなブレを軽減することが可能です。 2つ目の重要なポイントは、「位置決め精度」です。 X線で寸法測定をする際、測定物の材質に最適なパラメーター (倍率、X線管電圧、電流、露光時間 etc.)で測定することが重要です。 そして、測定物の大きさによって倍率:測定物とディテクターの距離が決まります。 その際、位置決め精度がよくないと、最適な条件になりません。 TomoScopeの位置決め精度は0.1μmです。 つまり、0.1μmピッチで軸を動かすことができるのです。 ここまで精度が高ければ、測定時のパラメーターを最適化することが容易です。 3つ目のポイントは、「MPE E3保証」です。 これはどういうことかというと、Maximum Probing Errorといって、 最大許容誤差、つまり測定精度です。 その中で、E3というのはX軸、Y軸、Z軸を同時に動かした際の精度です。 一番重要ですね。 TomoScope内部は、三次元測定機がベースになっていますので、E3を保証しております。 精度は5μmほどで、E3保証を謳っているのは、Werth社のTomoScopeのみです! 4つ目のポイントは「コントラストの得やすさ」です。 コントラストとは、測定物と空気の境がわかれているということです。 それがわかれないと、境界がわからないということなので、 像が認識できず寸法測定には適しません。 TomoScopeでは、X線が光源から広がる際の角度:コーンビームの頂点角度が 比較的小さいためにX線の広がりをおさえ、再構成時のボケが軽減されます。 また、X線の焦点サイズが数ミクロンレベルまで絞り込まれており、 半影の影響が少ない像を安定して得られます。 そのため、測定物と空気の境界:コントラストが はっきりと得やすい構造になっています。 以上4つがX線CTでの寸法測定において重要なポイントです。 現在、多数のお問い合わせをいただいており、 連日装置評価のための測定を実施している状況です。 もし測定機導入をお考えでしたら、お早めにご連絡いただければと思います。 今月も最後までお読みいただき、ありがとうございました。 それではまた来月お会いしましょう! -- H.H ☆TomoScope専門サイトはこちら☆ ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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