連載「三次元測定機って何なの?」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ ウェーハ用平面度測定機 ラインラップについて 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「高鍋鮎美の三次元測定機って何なの??」 2018年12月5日号 VOL.068 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 X線CTスキャンによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは。営業の高鍋鮎美です。 早いもので今年ももう師走となりました。 今年は皆さんにとってどんな一年でしたでしょうか。 何だかここ数年急に 「時代の変化が激しい」とか「IoT」とか「EV」とか、、 他にもキーワードはもっともっとありますが、 とにかく時代が移り変わっていく過渡期なんだなと 感じることが多い日々です。 以前は新聞やテレビで見聞きしているだけで、 どことなく他人事のように感じていましたが、 それがいよいよ現実になり、弊社の実際の仕事現場でも 新時代への対応が求めらるようになってきました。 更なる高性能化への取り組みや、 工場のオートメーション化への対応、 グローバルにビジネス展開されているお客様へのご対応など、 今、多くの会社様でも取り組まれている事だとは思いますが、 やはり新しい事への挑戦はいつも大変であり、刺激的でもあります。 さて、そんな時代背景と多少関係している事ですが、 最近Tropelの平面度測定機のラインナップを検討する機会があり、 今後はウェーハの測定用途でお勧めする機種を以下のように決めました。  ★ FlatMaster-Semi Auto Wafer  ★ UltraSort II 【FlatMaster-Semi Auto Wafer】  半自動機タイプで基板の載せ替えは人に行って頂きますが、  干渉計とのギャップ調整やTTV測定、SORI測定は連続して自動で行います。    チャックが1つで全てのサンプルサイズ、全ての測定項目を対応しています。 【UltraSort II】  上記FlatMaster-Semi Auto Waferに搬送ロボットが付いた全自動機です。  例えばTTVとSORI、Bow、Warpの測定なら1時間当たり150枚、  厚み測定も追加すると1時間当たり120枚というスループットです。 この2機種は特にSiCのお客様にはお勧めしたいモデルです。 その背景として、昨今よくお問合せを頂く「相関」の問題があります。 日本ではFlatMaster-Waferという長年ご愛好頂いているモデルを お使い頂いているお客様が大半ですが、 最近のSiC業界の活況に伴い、 新規でTropel製品をご導入されるお客様が特に中国を筆頭に増えており、 多くが上記の2機種どちらかを選定されています。 TTV測定では問題にならないのですが、 非吸着のSORI、Bow、Warp測定の際に、 上記2機種と日本で多いFlatMaster-Waferでは、 基板の保持方法が違う為に、「相関が取れない可能性」が発生します。 Semi Autoモデルと自動機モデルはどちらもチャックが地面に水平で、 そのチャックの上にサンプルを置くだけ(吸着なし)でSORI測定を行います。 一方でFlatMaster-Waferモデルは、 裏面1点(または3点)を吸着させ、約90度チャックを傾け、 装置に立てかけるようにして、SORIの測定を行います。(垂直保持) この基板保持方法の違いから、 特にSiCでは測定結果に差が生じる事が確認されていますので、 今後、装置のご購入をご検討頂くお客様には、 お取引されている会社様がどの機種で測定されているかを ご確認頂く事をお勧めしており、 弊社としましては、現在の世界的なトレンドでもある上記2機種を お勧めしている現状です。 ※勿論FlatMaster-Waferも引き続き販売させて頂いております。 今週も最後までお読み頂いて、ありがとうございました。 ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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