連載「三次元測定機って何なの?」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 取り扱い製品概要とデモ機情報 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「高鍋鮎美の三次元測定機って何なの??」 2015年12月16日号 VOL.033 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 X線CTスキャンによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは。営業の高鍋鮎美です。 今日から3日間、セミコンが開催されています。 弊社も毎年出展しておりまして、東棟のブースNo.2224です。 CorningTropel社の粗さ測定機を持って行っておりますので、 サンプルをお持ちでお越し頂ければ、その場で測定致します。 さて、今回はこの場を借りて改めて弊社取り扱い製品とその特長、 デモ可否等をまとめてみます。 【CorningTropel社製品】 平面度測定をメインに粗さ測定等、幅を広げています。 対象はフォトマスク、各種ウェーハ、ディスク、メカニカルシール、 その他機械部品です。 〈ウェーハ測定用途〉 ①FlatMaster-Wafer:デモ機あり(φ~200mm対応)  ウェーハ平面度を全面、30秒で測定します。  SiC、GaN、Lt、サファイア、シリコン、ガラスと材料は問いませんし、  アズスライス~鏡面まで面状態も幅広く対応可能です。  ※厚み300um以下のウェーハには薄物対応用機種もあります。 ②FlatMaster-SemiAuto:デモ機なし(ご評価は③使用)  ①と同じような測定が出来ます。  違いはチャックが測定項目やウェーハインチサイズに関係なく  共通の1種類を使えることです。  さまざまなウェーハを測定される場合には測定時間が①の半分程度です。  また、水平置きなので、薄いウェーハにも適しています。 ③UltraSort:デモ機あり(φ~150mm対応)  ①②同様の測定を全自動で行う機種です。  UltraSort150は2”~6”対応で4カセット、  UltraSort200は4”~8”対応で3カセットです。  メーカーではさらにスループット向上機種としてUltraSortⅡも開発しました。  吸着・非吸着測定で160枚/hをターゲットにしています。 ④FlatMaster MSP-Wafer:デモ機なし(ご評価は⑦使用)  ②に似ていますが、違いは厚みを精度良く(繰返し0.1um)測定出来ることです。  研磨量前後の比較や、膜付け前後の比較を全面データで行えることがメリットです。  また、水晶基板の測定にも最適です。 ⑤FlatMaster-Ra:デモ機あり  「簡単に測定出来る」が特徴の白色干渉計粗さ測定機です。 〈機械部品測定用途〉 ⑥FlatMaster-Industrial:デモ機あり(ご評価はφ~200mm対応)  メカニカルシールや、水道の弁、油圧部品に使われています。  30秒で最大25万点の全面データを取得します。  また平面度だけではなく、うねりも測定出来ますので漏れ対策で有効です。 ⑦FlatMaster-MSP:デモ機あり(ご評価はφ~150mm対応)  段差があるサンプルにはこちらの装置が便利です。  コンプレッサーなど、トップ面と奥まった面それぞれの平面度と高さ、  平行度の測定が60秒で簡単に出来ます。 〈フォトマスク〉 ⑧UltraFlat:デモ機なし  フォトマスク専用の超高精度平面度測定機です。  業界標準機として、実績多数です。 【Werth社製品】  三次元測定機メーカーの中でも、既存ラインナップの枠を超えて、 「お客様のご要望に合った装置」を追及するメーカーです。 ⑨TomoScope:デモ機あり(ご評価はφ~300mmxL~300mm対応)  「寸法測定が保証出来るX線CT装置」です。  樹脂、金属、複合材料、ユニット品全てで透過力と大きさが  ある範囲以内であれば測定出来ます。 ⑩VideoCheck:デモ機あり(テーブルサイズ400mmx400mm)  三次元測定機で繰返し精度1um以下というご要望に対応出来る機種です。  マルチセンサー式で、ご要望に合わせて必要なプローブを組み合わせていきます。   ⑪ScopeCheck:デモ機あり(テーブルサイズ400mmx200mm)  性能を限定した三次元測定機です。  画像処理とレーザー、接触式プローブが搭載出来ます。 来年1月のサンプル測定、デモ測定がまだ空きがありますので、 ご希望の方は、ご連絡頂ければ幸いです。 今週も、最後までお読み頂いて、ありがとうございました。 ☆TomoScope専門サイトはこちら☆ ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

測定機に関する理論や解析技術の情報発信として、定期的にメールマガジンを無料配信しています。メルマガにご登録頂くと、最新情報やWEB未公開の情報をいち早くお手元にお届けすることができます。

メルマガご登録はこちらから