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微細3D形状測定の新技術!!

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「三次元測定機って何なの?」
2010年7月20日号 VOL.011

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
三次元測定機やアプリケーション例などをテーマに、
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皆さん、こんにちは。
猛暑が続いておりますが、いかがお過ごしでしょうか。 



今回はWerth社の最新技術、「Nano Focus Probe」をご紹介します。


「Nano Focus Probe」は、日本語では、
「高精度共焦点顕微鏡プローブ」です。
または、カタカナ表記で「ナノ フォーカス プローブ」と言います。

要するに、
「サンプルの表面微細形状を、3次元で評価するための超高性能プローブ」の事です!!



最近、多くのお客様から、

「製品の精密化、小型化で、サンプル自体の大きさも小さくなり、
 要求される精度スペックもどんどん厳しくなってきている。
 
 サンプルを作ってみたものの、評価したい箇所が小さすぎて
 本当に図面通り出来ているのか確認する良い方法が見つからない。」

というお悩みを良く聞きます。 
 

100um以下の角型をした溝や、表面に数10umの凹凸パターンがあるサンプルなど、
従来のレーザープローブや他の測定方法ではなかなか難しい形状で
全体形状を見たいというニーズが増えているようです。


そのような時に是非試して頂きたいのが、「Nano Focus Probe」です!!



原理としては、
光源から白色光をサンプルに当て、
CCDカメラで映像を捉えるという通常の顕微鏡タイプに近いのですが、
最大の特徴は光源と対物レンズの間に
たくさんの小さな穴(ピンホール)があいたフィルターを入れていることです。

まず、光源からの光がサンプル表面を照らします。

そして、サンプルから帰ってくる光は、
対物レンズを通り、フィルター付近で一度焦点を結びます。

焦点がぴったり合っている部分の光は、
そのままフィルターを通過し、さらにレンズを通って、CCDカメラで捉えられます。

しかし、焦点が合っていない部分からの光は、
このフィルターで急速に減衰し、CCDまで届きません。

対物レンズを上下させることによって、
視野内のどの点がどれだけの高さを持っているかを知ることができます。

最終的には、それらを繋ぐことで3次元の全体形状を出すことができます!


しかも高さ方向の精度は、0.15umです!!

それをサブミクロンの横分解能で測定できるのです!


Werth社の三次元測定機は、Nano Focus Probe以外にも、
他に類を見ない機能がたくさんあります。

マルチセンサーと言って、必要なセンサーを選んで装置本体に搭載するので、
無駄のない、お客様のニーズにぴったり合った装置としてお使い頂けます。




以上、今回は「微細3D形状測定の新技術!!」をお届けしました。

Nano Focus Probeについてご質問がある方は、
パンフレットをご用意していますのでお気軽にご連絡下さい。

--
A.T


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