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三次元測定機で厚み測定

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「三次元測定機って何なの?」
2010年4月20日号 VOL.008

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
三次元測定機やアプリケーション例などをテーマに、
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皆さん、こんにちは。

先週4/15、16にパシフィコ横浜で開催されましたMEDTEC JAPANは
お陰様でたくさんのお客様にお越し頂きました。
ありがとうございました。



展示会場で多かったご相談に、
「金属の表面に膜を貼っていて、その厚み測定を短時間で精度よく測りたい」
というご要望がありました。

断面切断し、三次元測定機の接触式や画像センサー等を組み合わせて、
時間と手間をかけて測定していらっしゃるようです。

そこで今回は、Werth社独自のCFPという
簡単に非破壊で厚みを測定するプローブをご紹介したいと思います。




*CFP(Chromatic Focus Probe)


CFPとは「色収差プローブ」のことです。
(写真はこちら→ http://www.werth.de/index.php?id=74&L=1)


原理を簡単にご説明すると、

このプローブは白色光をレンズに通して色収差を使うことで測定します。
白色光とは、赤、オレンジ、黄、緑、青、藍、青紫といった単色光が
混合した光です。

それぞれの光は一定の波長を持っています。

サンプルにこの白色光を当てると、
混在したそれぞれの単色光が、その波長によって異なる焦点を持ちます。

さまざまな波長がありますので、
例えば金属に膜を貼ったサンプルを測定した場合、

ある単色光はサンプルの膜の表面で焦点を合わせ、
また、別の単色光はサンプル膜の内側の面、つまり金属の表面で焦点を合わせます。

この2つの焦点間の距離を解析することで
簡単に、非破壊で、高精度に膜の厚みを測定することが可能です!



膜の材質は、赤外線が透過できれば、
ガラス、プラスチック、ペンキ等の塗料など幅広く対応しています。


しかも、高さ分解能10nm、精度は0.5um以下です!!




以上、今回は「三次元測定機で厚み測定」をお届けしました。



詳細な資料もご用意しておりますので、
「表面に貼った膜の厚み、厚みムラ」で測定のお悩みがございましたら
是非一度、弊社にご相談下さい。

--
A.T


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