Corning Tropel トロペル社紹介

概要

Tropel

トロペル社は、レンズ光学の研究で世界的に有名なロチェスター大学レンズ光学研究室(米国・ニューヨーク州)の3人の教授が、1953年に設立したベンチャー企業に端を発しています。

トロペルの名の由来は、Rochester Optics Electronicsから各々の頭文字をとり、ROPELとし、さらに発音しやすいように最初にTを冠し、TROPELとしたものです。

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トロペル社の名が世界的に知られるようになったのは、物の平坦度を測定できる非接触斜入射位相干渉法を発明して以来です。

これは、HeNeレーザー光(波長633nm)をプリズムの法線に対し、80°以上の角度で斜入射し、その干渉縞を意図的に移動させることによって、装置内部分解能0.003μm、出力分解能0.01μmを実現。ウェーハの高平坦度測定を可能にした技術です。

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この方法はPMI(Phase Measurement Interferometry)法といい、トロペル社の元社長で、現在Corning社のExecutive Scientistを務めているDr.John.H.Bruningが、1978年にI.R.100(レンズ光学研究では世界最高の栄誉ある賞)を受賞しました。

※このときのDr.John.H.Bruningの論文はこちらで公開しています。(pdf形式/5.0MB/英文)

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その後、2001年に光ファイバーで有名なCORNING社の傘下に入り、現在のCorning Tropel社になりました。

沿革

1953 光学分野で世界的に有名なロチェスター大学/光学研究所の3人の教授により、
ベンチャー企業として設立。
1964 General Electronic社向けの大型スクリーン・プロジェクターとして、
ライトバルブ・プロジェクターを開発。
1965 アルゴン・ブルックヘブン国立研究所において、
バブル・チャンバーの研究、設計、製造を行う。
1966~1970 AT&Tベル研究所にて、今日のDSW Wafer Stepperのオプティクスの基礎となる
半導体回路用の高解像力レンズを開発。
1971 Tropel Metrology Instrumentsの原理となる波面解析用の位相差測定干渉計を
AT&Tベル研究所と協同開発。
1972 OTF測定機を発売。同年、Coherent社により買収。
1978 フォトマスク及び半導体ウエーハの検査用として、
平面度(平坦度)測定装置を発売。
1982 世界初の半導体製造装置“ステッパー”を開発・製造したGCA社により買収。
1984 マイクロリソグラフィー用として、GCAステッパーに搭載された
初のエキシマ・レンズ及び光源を完成させる。
1988 GCA Tropel社として、General Signal社の傘下に入る。
1993 Tropel社の経営層により、General Signal社から経営権を買い戻し、独立を果たす。
1999 ISO-9001の認定を受ける。
2001 Corning Tropel社としてCORNING社の傘下に入る。

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